方法的优缺点比较
　　各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接pecvd法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。
　　使用不同频率的pecvd系统，也各有一定的优缺点：
　　（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。
　　（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。
　　（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。
选用燃烧器的一般原则是什么？
答：考虑到管式炉的燃料来源，工艺要求和炉型特点，选用燃烧器时注意下列各点：
1)燃烧器应与燃料特点相适应；
2)燃烧器应满足管式炉的工艺需求；
3)燃烧器应与炉型配合；
4)燃烧器应满足节能和环保要求。
什么是吹灰器？吹灰器的种类有哪些？
答：吹灰器是利用喷射蒸汽、空气或产生超声波的方法去清扫炉管表面灰尘的一种工具。吹灰器的种类有蒸汽吹灰器、声波吹灰器、激波吹灰器等。
主要功能和特点：
1、炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，高效节能。
2、加热元件采用进口优质合金丝，经久耐用,温度可达1200℃。
3、采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。
4、采用rk快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。
5、上开式炉盖设计，可以实时观察加热的物料，并能迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验需要；
6、智能pid高精度控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。
7、预留真空、气路快速接口，配合我司真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。
8、预留485转换接口，通过我司专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；
9、具有开启断电，超温报警，漏电保护等安全操作功能。

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